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    Setra壓力傳感器廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的各個領(lǐng)域

    更新時間:2023-01-06  點擊次數(shù): 866次
      Setra壓力傳感器可變電容材料具有極穩(wěn)定的物理化學(xué)性能,可提供高達(dá)±0.02%FS的傳感器,穩(wěn)定性優(yōu)于±0.05%FS,采用其它敏感原理產(chǎn)品難以達(dá)到。先進(jìn)的檢驗電路可檢測出敏感電容極微小的變化,從而具有高分辨率,如Setra的Model270大氣壓力傳感器的分辨率可達(dá)0.005%FS。
      
      性能優(yōu)勢:
      1、測量范圍寬:具有很寬的測量范圍,它可對25Pa~70MPa范圍的壓力進(jìn)行的測量,且具有的穩(wěn)定性。
      2、長期穩(wěn)定性好:與其他同類產(chǎn)品相比具有更高的穩(wěn)定性,與其它傳感器如金屬應(yīng)變式傳感器不同,電容式傳感器的蠕變,時效和溫度影響均很小。幾乎所有不利因素對電容式傳感器輸出穩(wěn)定性的影響均小于其他形式的傳感器。Setra壓力傳感器的零點穩(wěn)定性可達(dá)到0.05%FS/年。
      3、高輸出信號:電路可將電容的微小變化直接轉(zhuǎn)換成高輸出信號,而無需進(jìn)行信號放大,壓阻式傳感器(薄模式,C式)輸出信號低,易受外界信號干擾等缺點,而這通常是傳感器穩(wěn)定性差,受溫度影響大,易受電磁波干擾的主要原因。
      4、防腐抗干擾性能好:與介質(zhì)相接觸的材料均采用不銹鋼材料,因而可與許多酸堿溶液,腐蝕性氣體或液體很好地相容??闺姶艌龈蓴_高輸出信號、抗干擾設(shè)計及采用金屬外殼,使Setra壓力傳感器對外部電磁場具有很高的抑制能力,它具有與可編程控制相當(dāng)?shù)目垢蓴_能力。
      5、在惡劣環(huán)境中工作:非常經(jīng)久耐用,它的工業(yè)級的產(chǎn)品可承受小107次測滿量程壓力循環(huán),如果工作壓力不,傳感器的循環(huán)壽命幾乎可達(dá)到長,而且其工業(yè)的產(chǎn)品均能承受100~200kg的沖擊和小10~20的振動。
      
      Setra壓力傳感器廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的各個領(lǐng)域,遍及半導(dǎo)體工藝的通用氣和特氣GDS系統(tǒng),這些氣體用于半導(dǎo)體集成電路制造的方方面面。
      1、現(xiàn)場過程壓力測量;
      2、吹掃氣體傳輸系統(tǒng)壓力測量;
      3、傳送室壓力測量和控制;
      4、潔凈室空氣控制;
      5、泄漏檢測;
      6、通風(fēng)柜控制;
      7、激光干涉儀;
      8、太陽能等新能源。
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